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.2維CMOS雷射型。.向奈米級邁進支援核心品質的超高性能型。.亦備有測量中心距離20~1,500mm等產品系列。.解析度最高可達0.02μm (0.001μm) 。.應答速度最快可達110μs 。.採用多工功能,最多可同時測量4個點。.備有豐富的週邊裝置,可依使用目的加以選擇。